ファクトリーオートメーション向け小型圧力センサー

装置直近での圧力測定は、半導体製造装置、クリーン環境、ダクト式エアシステムなど、設置スペースが限られ目視確認が日常的に行われる現場で広く用いられている。この用途分野向けの新たなデバイスとして、デジタル表示付きのOmron製E8Y-Lマイクロ圧力センサーがMouserの流通ラインアップに加わり、産業オートメーションおよびプロセス制御用途に対応する。

狭小スペースへの組み込みを想定した設計
E8Y-Lマイクロ圧力センサーは、31 mm × 30 mm × 30 mmのコンパクトな筐体に赤色LED表示を内蔵し、現場で直接圧力値を確認できる構造を採用している。このフォームファクターにより、遠隔ゲージの設置が難しいバルブ周辺、ダクト部、装置内部区画などへの組み込みが可能となる。主な用途には、制御環境内の室圧安定化や、自動化されたダクトシステム内の気流管理が含まれる。

外部コントローラ不要の設定とスイッチング
本センサーはオートティーチング機能を備え、スイッチ動作を行う圧力ポイントをオペレーターが設定できる。ゼロ点は任意の基準値に調整可能で、安全関連プロセスにおける相対的な圧力変化の把握を容易にする。これらの機能は、半導体製造工程におけるウェーハ処理リアクターの圧力管理、イオン注入工程での有機ガス流路監視、パージガス漏れ検知などの用途に関連する。

前面パネルの4つのボタンから、測定レンジの選択、表示チャンネル設定、動作モードの切り替え、ならびに上限・下限しきい値の設定が行える。ローカルでしきい値を管理できるため、排気ラインの詰まりや通気口の閉塞といった異常を、追加のインターフェース機器なしで直接検出できる。

電気的および機械的インターフェース
E8Y-Lシリーズには、アナログ電流出力タイプとRc(PT) 1/8圧力ポート付きモデルが用意されている。本センサーは産業機器向けとしてENおよびUL認証を取得している。電源は12 V～24 V DCに対応し、標準的な産業用電源ラインからの給電が可能。最大消費電流はモデルにより50 mAまたは75 mAと規定されている。

産業環境における動作条件
動作温度範囲は−10 ℃～55 ℃で、結露および氷結のない条件下での使用を想定している。許容相対湿度は最大85%。これらの仕様から、本デバイスは屋外の曝露環境ではなく、機械内部の筐体内や管理された生産エリアへの設置を前提とした設計となっている。

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