高いオフセット安定性を備えた産業用3軸加速度センサ
村田製作所のSCA3400-D01 XYZ加速度センサは、構造ヘルスモニタリング（SHM）、機械制御、慣性計測ユニット、建設ツールおよびシステムなどの産業用途での使用を想定しています。
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村田製作所は、長期間使用時のセンサ出力変動値（オフセット寿命ドリフト）が0.5mg（ミリ重力加速度）未満という業界最高水準の性能を備えた産業機器向けデジタル3軸MEMS加速度センサ「SCA3400シリーズ」を開発しました。本製品は耐久性に優れており、橋梁や建物などの構造物の劣化を検知する構造ヘルスモニタリングなどの用途において、機器の信頼性向上に貢献します。量産開始は2025年10月を予定しています。
産業機器のデジタル化により、自動で構造物や機械設備などの異常や損傷を早期に検知し、予知保全を行うニーズが高まっています。これらを自動化する方法の一つとして、センサによる動作検知が挙げられます。特に、橋梁や建物などの劣化をセンシングする構造物ヘルスモニタリングでは、長期間の監視が不可欠となっています。そのため、構造物の形状の微細なひずみや変化を正確に捉える加速度センサの性能が、構造物ヘルスモニタリングのシステム全体の信頼性に大きく影響します。しかし、従来の微小な傾斜を検知する高精度な加速度センサは、オフセットライフタイムドリフトの値が高く、使用期間が長くなると基準位置のずれが大きくなってしまい、構造物の劣化を正確にセンシングできない課題がありました。
そこで当社は、独自のMEMSプロセスと最新の回路設計により、微小な傾斜検知が可能かつオフセットライフタイムドリフトの値が0.5mg以下の当製品を開発しました。これにより、構造物ヘルスモニタリングなどで使用されるシステムの長期的な高精度測定に貢献します。当製品は、振動や温度変化に強いため、過酷な環境で使用される産業機器においても、長期間使用できます。
当社は今後も高精度な加速度センサの開発に取り組み、多様な市場ニーズに貢献していきます。
主な特長
- 業界トップクラスであるオフセットライフタイムドリフトが0.5mg以下。
- 低ノイズで微細な動きも正確に検知。
- 振動や温度変化に強く、過酷な環境でも安定して動作可能。
- センサ状態を常時監視する自己診断機能搭載。
- 当社従来品と同じサイズ・出力方式であるため、お客様での追加設計工数を削減可能。
