高精度測定向けマルチDoF光学エンコーダ

Renishawは、最大6自由度（6DoF）の位置測定を可能にするマルチDoF（multiple degrees of freedom）光学エンコーダシステムを発表しました。本ソリューションは、高い精度、速度、再現性が求められる高性能モーションシステム向けに設計されており、精密工作機械、半導体システム、フォトニクス用途などに適しています。

本システムは、2026年3月18日から20日まで上海で開催されるLaser World of Photonics China 2026にて発表されました。

システム構成と動作原理
マルチDoFエンコーダシステムは、RXMA30 1.5Dスケールと絶対式読み取りヘッドRESOLUTEを組み合わせています。この構成により、高い計測精度を維持しながら複数軸の同時計測が可能となります。

RXMA30スケールは、厳しい熱環境および動的条件下での動作を想定して設計されており、変動する負荷環境においても高い再現性を実現します。独立した測定トラックにより、複雑な信号処理アルゴリズムを必要とせず、X軸およびY軸の動きを直接測定できます。

絶対式エンコーダ技術の採用により原点復帰（ホーミング）処理が不要となり、特に動作制御が制限される軸においてシステム統合が容易になります。

リアルタイム誤差補正
本システムは、ガイドの直線性誤差、微小な並進ずれ、回転誤差など、精密モーションシステムにおける一般的な誤差要因の特定および補正を可能にします。

これらの誤差を運転中に補正することで、プロセスの安定性が向上し、歩留まりの改善につながります。これは高い幾何学精度が求められるアプリケーションにおいて重要です。

統合性と設計の柔軟性
マルチDoFシステムは、オープンかつスケーラブルなアーキテクチャとして設計されており、多様なシリアルインターフェースおよびモーション制御プラットフォームに対応しています。これにより、既存の自動化システムへの統合や、アプリケーション要件に応じたスケールおよび読み取りヘッド構成の最適化が可能です。

このアプローチにより、測定システムの構成が簡素化され、コンポーネント数を削減しながら、多軸測定における高い機能性を維持できます。

産業ジャーナリストの Romila DSilva が編集し、AI の支援を受けて作成。